Autofokus Messsystem
Das Autofokus-Prinzip: Ein
Laser-Lichtstrahl wird vom Sensor auf die zu messende Oberfläche fokussiert.
Das
von der Oberfläche reflektierte Licht wird vom Sensorobjektiv eingesammelt,
ausgekoppelt und in zwei orthogonale
Brennlinien aufgespaltet.
Ein
mittig zwischen die Brennlinien positionierter Detektor bildet bei korrekt
fokussiertem Lichtstrahl, d. h., wenn
sich die zu untersuchende Oberfläche
genau im Fokus befindet, einen Kreis. Das von der Oberfläche durch das
Objektiv
reflektierte Licht wird vom Kollimator wieder zu einem Brennpunkt vereint. Jede
Defokussierung ergibt eine
Ellipse, deren Orientierung und Exzentrizität quasi
die Informationen über die Höhenänderung der Oberfläche
beinhalten. Die
Formabweichung der Ellipse wird über die unterschiedliche Stromverteilung der
vier Quadranten
einer Photodiode ausgewertet und einem Regelkreis zugeführt.
Der Regelkreis bewirkt eine Verstellung bzw.
Nachführung der Objektivlinse bis
sich die Oberfläche wieder im Fokus befindet. Diese Nachführung der
Objektivlinse
wird über einen Glasmaßstab ermittelt und als Messwert
ausgegeben.
Technische Daten Autofokus:
Messbereich:
[µm]
1500
Auflösung vertikal:
[nm]
> 10
Reproduzierbarkeit:
[nm]
< 10
Arbeitsabstand:
[mm]
2
Wellenlänge Laser:
[nm]
780
Laserklasse:
1
Messfleckdurchmesser:
[µm]
ca. 2
Neigungswinkel max.:
[°]
± 25
Abtastrate,
max.:
[kHz]
10
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